光栅应用二：真空紫外（VUV）和软X射线

全息离子刻蚀片状母光栅

曲率半径：17800 mm

曲率半径误差：±1 000 mm

标准产品：

超环面母光栅

标准产品：

变线距（VGD）母光栅

根据客户要求定制。