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纳米位移台

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纳米直线位移台

纳米直线位移台

应用:半导体领域,光电子领域,医药,自动化,显微镜,天文,

            生命科学,航空/航天,同步辐射,材料科学,数据存储,测量学等。

型号

SLC-17

SLC-24

SLL12

SLL(A/V)42

SL-06

SHL-20N-10

静态阻力(N)

3.5

3.5

3

5

1

--

最大推力(N)

20-30

20-30

30

30

1

--

最大提升力(N)

1.5(3选配)

1.5(3选配)

1.5

1.5

0.35

20

断面尺寸(mm2)

17*8.5

24*10.5

27*10

55.8*13

5.2*11

65*50

长度(mm)

20-80

30-180

70-495

70-1500

11-17

75

重量(g)

13-51

36-216

>45

>245

>3

200

俯仰力矩(Nm)

0.6-12.5

2.2-49.1

6

25

0.1

2.5

偏心力矩(Nm)

0.6-12.5

2.2-49.1

6

25

0.1

2.5

扭矩(Nm)

0.4-1.9

1.5-6.1

11

90

0.1

2.5

行程(mm)

12-51

16-123

35-460

10-940

4.5-17

10

步长(nm)

50-1500

50-1500

50-1500

50-3000

50-1500

50-1500

陶瓷扫描范围(μm)

>1.5

>1.5

>1.5

>3

1.5

0.5

陶瓷扫描分辨率(nm)

<1

<1

<1

<1

<1

<1

速度(mm/s)

>20

>20

>20

>20

>13

>9

最大频率(kHz)

18.5

18.   5

18.5

18.   5

18.5

18.   5

传感器分辨率(nm)

1

1

1

1

--

1

闭环分辨率(nm)

1   (-S, -SC),

4 (-L),

100   (-M)

1   (-S, -SC),

4 (-L),

100   (-M)

1   (-S, -SC),

100   (-M)

1   (-S, -SC),

100   (-M)

--

1   (-S, -SC),

4   (-L),

100   (-M)

重复性

(全行程内,nm)

±25-±80

±30-±180

±70-±450

±70-±450

--

±100

传感器类型

-M,  -S, -SC, -I, -L

-M,  -S, -SC, -I, -L

-M,  -S, -SC,

-M,  -S, -SC,

无传感器

-M,  -S, -SC, -L

真空环境

10-6   mbar,

10-11   mbar

10-6   mbar,

10-11   mbar

10-6   mbar

 

10-6   mbar

10-6   mbar,

10-11   mbar

10-6   mbar,

10-11   mbar

     

 

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点击次数:  更新时间:2017-08-27 20:33:00
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