应用：半导体领域，光电子领域，医药，自动化，显微镜，天文，
生命科学，航空/航天，同步辐射，材料科学，数据存储，测量学等
产线 | SmarPod | |||||||
直线平台型号 | 70.42 | 115.25 | 110.45 | 225.75 | P-SLC-17 | P-SLC-24 | P-SLL | Wafer-200 |
垂直负载(N) | 5 | 5 | 5 | 10 | 5 | 10 | 10 | 20 |
水平负载(N) | 2.5 | 2.5 | 2.5 | 5 | 2.5 | 5 | 5 | -- |
尺寸(mm2) | ⌀70 | ⌀115 | ⌀110 | ⌀225 | 110*50 | 110*90 | 250*80 | 420*430 |
高度(mm) | 42 | 25 | 45 | 75 | 67 | 68 | 67.5 | 93 |
重量(g) | 300 | 400 | 400 | 1000 | 300-2000 | 300-2000 | 300-2000 | 11000 |
行程X(mm) | 10 | 11 | 20 | 41 | 48 | 79-119 | 20-1200 | 200 |
Y(mm) | 10 | 11 | 20 | 41 | 28-48 | 45-119 | 45-119 | 200 |
Z(mm) | 5 | 5 | 11 | 21 | ≤9 | ≤12 | ≤16 | 10 |
旋转度X(°) | 14 | 18 | 21 | 20 | ≤28 | ≤31 | ≤42 | 6 |
Y(°) | 16 | 20 | 24 | 23 | ≤26 | ≤27 | ≤33 | 7 |
Z(°) | 28 | 37 | 38 | 41 | ≤20 | ≤42 | ≤42 | 24 |
最小步长(nm) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
(μrad) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
全程重复度 | <±200(nm) | <±200(nm) | <±200(nm) | <±200(nm) | <±200(nm) | <±200(nm) | <±200(nm) | <±200(nm) |
<±10(μrad) | <±10(μrad) | <±10(μrad) | <±10(μrad) | <±10(μrad) | <±10(μrad) | <±10(μrad) | <±10(μrad) | |
1mm的偏离度 | <±15 | <±15 | <±15 | <±15 | <±15 | <±15 | <±15 | <±15 |
传感器 | -S，-SC | |||||||
真空环境 | 10-6mbar,或者10-11mbar | 10-6mbar | ||||||
