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纳米位移台

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高精度六轴转台

高精度六轴转台

应用:半导体领域,光电子领域,医药,自动化,显微镜,天文,

            生命科学,航空/航天,同步辐射,材料科学,数据存储,测量学等


产线

SmarPod

直线平台型号

70.42

115.25

110.45

225.75

P-SLC-17

P-SLC-24

P-SLL

Wafer-200

垂直负载(N)

5

5

5

10

5

10

10

20

水平负载(N)

2.5

2.5

2.5

5

2.5

5

5

--

尺寸(mm2)

⌀70

⌀115

⌀110

⌀225

110*50

110*90

250*80

420*430

高度(mm)

42

25

45

75

67

68

67.5

93

重量(g)

300

400

400

1000

300-2000

300-2000

300-2000

11000

行程X(mm)

10

11

20

41

48

79-119

20-1200

200

Y(mm)

10

11

20

41

28-48

45-119

45-119

200

Z(mm)

5

5

11

21

≤9

≤12

≤16

10

旋转度X(°)

14

18

21

20

≤28

≤31

≤42

6

     Y(°)

16

20

24

23

≤26

≤27

≤33

7

     Z(°)

28

37

38

41

≤20

≤42

≤42

24

最小步长(nm)

1

1

1

1

1

1

1

1

       (μrad)

1

1

1

1

1

1

1

1

全程重复度

<±200(nm)

<±200(nm)

<±200(nm)

<±200(nm)

<±200(nm)

<±200(nm)

<±200(nm)

<±200(nm)

<±10(μrad)

<±10(μrad)

<±10(μrad)

<±10(μrad)

<±10(μrad)

<±10(μrad)

<±10(μrad)

<±10(μrad)

1mm的偏离度

<±15

<±15

<±15

<±15

<±15

<±15

<±15

<±15

传感器

-S-SC

真空环境

10-6mbar,或者10-11mbar

10-6mbar

              5.png

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点击次数:  更新时间:2017-08-30 00:14:08